RF电源故障解析：同一个腔体内若有多个RF电源运行时会发生哪些异常（）？A.放电不稳定B.匹配不稳定C.Pr

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RF电源故障解析：同一个腔体内若有多个RF电源运行时会发生哪些异常（）？

A.放电不稳定
B.匹配不稳定
C.Pr 残存
D.成膜慢

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