蒸镀制膜主要包括的物理阶段有（）A.淀积材料蒸发或升华为气态B.原子从蒸发源输运到基片C.蒸气粒子在基片上沉积

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蒸镀制膜主要包括的物理阶段有（）

A.淀积材料蒸发或升华为气态
B.原子从蒸发源输运到基片
C.蒸气粒子在基片上沉积
D.粒子在基片表面重排凝结成膜

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