影响化学气相沉积的工艺参数包括（）。A.沉积温度的确定B.反应混合物的选择C.系统内总压和气体总流速D.原材料

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影响化学气相沉积的工艺参数包括（）。

A.沉积温度的确定
B.反应混合物的选择
C.系统内总压和气体总流速
D.原材料的纯度

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