气相沉积过程包括哪几个环节（）A.气相物质的产生B.气相物质在工件表面沉积形成固态薄膜C.沉积材料蒸发D.气相

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气相沉积过程包括哪几个环节（）

A.气相物质的产生
B.气相物质在工件表面沉积形成固态薄膜
C.沉积材料蒸发
D.气相物质的输运

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