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单项选择题
LIGA是一种全新的微细加工技术，可以进行批量化生产，其工艺包括（）

A.氧化－腐蚀－扩散
B.微机械加工
C.腐蚀－淀积－牺牲层清除
D.刻蚀－电铸－注塑

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