A.目前特种加工中最精密、最微细的加工 B.离子撞击工件表面,将机械能转换成热能,使工件表面融化、气化去除材料 C.加工在高真空中进行,污染少,特别适于易氧化金属加工 D.靠离子轰击材料表面原子进行加工,加工应力和变形极小
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