可以用于集成电路（IC）和超大规模集成电路（VLSI）芯片的清洗和腐蚀的是（）。A.氟化铵B.高纯度氟化氢C.

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可以用于集成电路（IC）和超大规模集成电路（VLSI）芯片的清洗和腐蚀的是（）。

A.氟化铵
B.高纯度氟化氢
C.光刻胶
D.氟聚酰亚胺

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