以下工艺中，方块电阻是一个重要的参数，一般用于衡量（）工艺中杂质情况。A.氧化B.扩散C.光刻D.刻蚀

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以下工艺中，方块电阻是一个重要的参数，一般用于衡量（）工艺中杂质情况。

A.氧化
B.扩散
C.光刻
D.刻蚀

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