在硅片加工中可以接受的膜，以下不具备需要的膜特征（）A.好的台阶覆盖能力B.填充高的深宽比间隙的能力C.好的厚

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在硅片加工中可以接受的膜，以下不具备需要的膜特征（）

A.好的台阶覆盖能力
B.填充高的深宽比间隙的能力
C.好的厚度均匀性
D.高的膜应力

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