下面哪个选项不是集成电路工艺用化学气体质量的指标？（）A.金属离B.微粒C.纯度D.浓度

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下面哪个选项不是集成电路工艺用化学气体质量的指标？（）

A.金属离
B.微粒
C.纯度
D.浓度

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