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直拉单晶硅工艺学

【问答题】直拉硅单晶工艺中，经常采用什么措施降低单晶中的氧碳含量？

【问答题】单晶中的杂质析出和杂质条纹对单晶质量危害很大，应尽量消除。生...

【问答题】简述缩颈工艺能排除籽晶中原生和新生位错的原理。

【问答题】晶体生长过程中由于受到多因素影响，熔体会产生不稳定的对流—湍...

【问答题】晶体旋转和坩埚旋转对单晶生长界面有何影响？

【问答题】哪些因素影响单晶生长界面，如何影响？

【问答题】直拉单晶生长界面为什么出现凸、平、凹变化？

【问答题】在直拉单晶整个生长过程中，热传输方式如何变化？

【问答题】拉制硅单晶时，杂质蒸发和哪些因素有关？

【问答题】如何理解用正常凝固解释和计算直拉硅单晶中杂质分凝和杂质分布是成功的？

【问答题】普凡方程和导出方程过程中的一些假设称为BPS模型。提出这个模...

【问答题】多晶硅熔完后，无任何机械振动干扰，熔硅表面发生波动的现象，称...

【问答题】所谓“跳硅”，指熔硅在坩埚中沸腾现象。跳硅厉害时熔硅跳出坩埚...

【问答题】光图象法做籽晶定向的原理是什么？

【问答题】多晶硅、石英坩埚、籽晶、母合金等在生产、加工、运输储存过程中...

【问答题】生长直拉硅单晶用的多晶硅原料，大多数是用硅芯、钼丝或钽管作发...

【问答题】在单晶硅生产中，为什么要制取高纯水？

【问答题】沿方向生长硅单晶与沿方向生长硅单晶热场有何不同？为什么不同？

【问答题】直拉单晶炉热场的纵向温度梯度和径向温度梯度对拉晶有何影响？

【问答题】直拉单晶炉的合理热场条件是什么？

【问答题】什么叫热场？

【问答题】什么叫直拉单晶炉的热系统？

【问答题】设计加热器时一般需要关注哪几个参数？

【问答题】如何理解晶体生长时，各晶面的法向生长速度不同，面密度大的晶面...

【问答题】假设一炉只拉一根晶体，那么随着单晶的生长长度变化到最后拉晶结...

【问答题】一个热系统，合理的热场温度分布应该是怎样的？

【问答题】怎样安装调试直拉单晶炉？

【问答题】怎样使用旋片真空泵和扩散泵，使用时应注意哪些问题？

【问答题】直拉单晶炉由几大部分组成？

【问答题】两级旋片式真空泵比单级旋片真空泵有哪些优点？

【问答题】晶体生长和晶体表面有何关系？

【问答题】什么叫熔体过冷度？

【问答题】晶体熔化时，在熔化温度和时间的关系曲线上为什么出现温度平台？

【问答题】从晶体生长的动力学过程看，哪种过程对生长速率起支配作用？

【问答题】简述二维晶核的形成机理。

【问答题】许多晶体从稀薄环境相中生长，可作为完整突变光滑面的生长，这种...

【问答题】导致石英坩埚变形的可能的原因有哪些？

【问答题】在拉晶过程中经常会遇到石英坩埚变形，简单介绍一下石英坩埚变形...

【问答题】石英坩埚在高温下具有趋向变成二氧化硅的晶体（方石英）。这个过...

【问答题】描述择优腐蚀法检测位错的原理。

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