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【问答题】如何可以根除磁控溅射中的“拉弧”现象？

【问答题】磁控溅射沉积中为什么会出现“拉弧”？

【问答题】什么是阳极消失？

【问答题】在靶中毒的情况下，沉积速率和反应气体流量为什么会出现迟滞现象？

【问答题】为什么反应溅射沉积速率低？

【问答题】磁控靶表面的磁场强度是多少？

【问答题】磁控溅射典型的工艺参数？

【问答题】什么是离子束溅射？

【问答题】为什么射频溅射可以溅射非导电靶材？

【问答题】什么是二极溅射？其工艺参数如何？

【问答题】磁控溅射中，磁场起什么作用？

【问答题】磁控溅射的特点是什么？

【问答题】合金薄膜沉积中溅射镀膜和蒸发镀膜有何区别？

【问答题】沉积速率与压力关系如何？

【问答题】什么是溅射速率？

【问答题】溅射粒子角分布（方向分布）如何？

【问答题】为什么溅射产额与离子的入射方向有关？

【问答题】为什么选用氩气作为放电气体？

【问答题】溅射产额与哪些因素有关？

【问答题】浸没在等离子体中基片的悬浮电位是多少？

【问答题】什么是等离子体鞘层？

【问答题】从原理上讲，真空检漏可分为哪两大类？

【问答题】真空检漏的意义是什么？

【问答题】热偶真空计和热阴极电离真空计的工作范围是？

【问答题】什么是电离真空计的外控接法？有何好处？

【问答题】热传导真空计为什么易老化？

【问答题】影响热传导真空计测量下限的原因是什么？

【问答题】热传导真空计的原理是什么？通过什么量的测量来反映热传导的变化？

【问答题】麦氏真空计的特点是什么？

【问答题】什么是真空系统的时间常数？一个不漏气也不放气的系统在抽气过程...

【问答题】涡轮分子泵对什么气体的抽速较大？为什么？

【问答题】固定涡轮分子泵轮叶槽间隙和弦长之比s/b，则与什么因素有关？

【问答题】扩散泵的主要缺点是什么？

【问答题】扩散泵对什么气体的抽速较大？为什么？

【问答题】是什么原因影响了油扩散泵的运用范围？

【问答题】机械泵油的作用是什么？

【问答题】旋片泵的极限真空决定于什么？

【问答题】如何评价泵的基本性能？

【问答题】辉光放电的等离子区中电离度是多少？

【问答题】放电过程中为什么会发光？

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